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真空脱泡固化箱组适用于用与IGBT功率模块和固态灌封工艺过程中通过真空泵,将真空箱内的气体抽到负压状态抽真空将胶水中的气泡去除(俗称脱泡)及胶水热固化。固化后可起到防水,防潮,防尘,绝缘等特性。被广泛地采用在功率半导体行业。
a、真空部分
• 选用优质高抽速真空泵,抽速越快。模块的胶水脱泡越快,生产效率越高。
• 箱体带有快、慢抽阀装置可以根据客户生产需求调节真空箱抽速。
• 配备电磁真空截止阀,防止真空室“返油”,保证了真空室的洁净度
• 箱体配有废气过滤装置,确保无污染气体的排放。
b、高温部分:
•箱体采用三面辐射加热方式,保证箱体温度均匀度。
•温度均匀性表征的是真空干燥箱整个内部空间温度的差异,温差越小说明箱体的温度均匀性越高,产品模块的工艺一致性越高,产品稳定性越好。
c、选配部分:
•可选用带有充氮系统氧含量:≤50PPM
•油泵和干泵
d、控制系统部分:
高精度可编程控制系统或数显式真空仪表,便于客户根据产品需要选配不同的控制系统
真空脱泡箱参数:
a、真空系统由:真空室、真空泵、真空计、抽速快慢调节电磁阀、真空管道,返油阀等组成。
b、真空室:真空室整体为方箱式结构,由 SUS316L 不锈钢板焊接而成,为增加强度焊接有加强装置。真空室门设有检测开关,门未关闭到位不得开启真空泵。
c、材质:测试区内箱SUS#304不锈钢板,外箱烤漆(RAL 9002 Greey white 灰白色)
a、真空泵:选用双极旋片真空泵,换气率为8L/S,能快速将内部空气抽到真空状态。
d、真空计:选用高精度真空计,实时测量真空室内压力。
e、真空阀:真空阀分快抽阀和慢抽阀两种,在粗抽真空时采用慢抽阀,避免大抽速对工件的影响,当真空度到一个设定值时自动转换为快抽阀。
f、移动脚轮:强力螺栓固定位置支撑脚4个,移动调整轮4个(500Kg /轮 )移动试验箱用。
固化箱参数:
a、内箱材质:SUS304#不锈钢板 T=1.2mm,附加整体结构加固。
b、外箱材质:双面镀锌钢板 T=1.5mm,外箱烤漆。
c、保温材质:保温绝缘层耐燃防火 PU + 隔热玻璃棉(保温层厚 100 mm)。
d、箱 门:全开单翼型带有双层硅橡胶密封和门锁。
e、置 物 架:可活动调整栅盘架与 SUS304#不锈钢条状栅盘二只(盘架每间格 5.0 cm)
控制器:触摸式中英文液晶显示器
设定时间容量:0 H 1 M ~ 9999 H 59 M.
预约开机时间:预约时间设定功能.
画 面 显 示:彩色实时曲线显示画面
覆电后选择:停电覆电后可“继续”“重新”“停机”之设定选择.
温度保护上下限:设定试验程序储存同时,自动设定高低温度保护上下限
模 式 选 择:定点或可程序 控制模式
通信接口:SD 卡存储、RS232 连接 RS485 通信接口
时序插座:配时序电源输出控制接口,可提供依程序设定要求的开关信号输出。
彩色触屏控制器,可对抽真空(开/关)、充氮气(通/断)、升温进行编辑可进行程序编辑,储存和调用。
我司采用的PID微电脑自动控温器,能够通过设定内部的上下温度限值来对机器工作室的过温问题报警及停止功率输出,以达到保护机台内的产品不因过温而导致不必要的损失。
高温保护系统:当由于外力原因导致温度失控时,本系统会在超过设定温度10度时自动停止整机供电,从而保护你的产品及机器的安全。
过流保护系统:当由于外加电压过高或其它原因导致整机的功率超出正常功率时,本系统会自动断电保护整机的工控组件不被损坏。
设备基本技术指标
设备名称:真空脱泡固化箱组
设备型号:AHVT-RT0120J
真空脱泡箱参数:
内箱尺寸W×H×D mm:600×600×600
外箱尺寸W×H×D mm:1250×1650×900
内箱容积 :216L
真空度:100Pa
抽真空<133Pa时间:≤5分钟
加热方式:热辐射加热(箱体三面加热)
温度范围:RT+10~200℃
升温时间:首次升温时间,室温~200℃约为97分钟
固化箱参数:
内箱尺寸W×H×D mm:500×600×500
外箱尺寸(W×H×D)mm:880×1400×735
内箱容积 :150L
温度范围:RT+10~200℃
加热器:不锈钢发热管。
升温速率:≤3℃/min(全程平均空载)
温度波动度:≤±0.5℃
温度均匀度:≤2.0℃
温度偏差: ≤±2.0℃
充氮系统(选配)
a、氮气流量计:10~100L/min可调
b、氮气入口:φ10mm快接口
c、手动泄压阀,用于停电时泄压或排氮气用。
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